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微细电沉积加工技术浅析及实验研究
【机构】 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；
【摘要】 随着MEMS技术的飞速发展,微细加工技术作为一种先进的MEMS生产制造技术因其独特的工艺优势和美好的发展前景受到了世界各国众多学者的广泛重视。简要分析了微细电沉积加工的两种典型技术:磁电沉积技术和超声沉积技术,结合中物院机械制造工艺研究所的研究设备,开展了微细电沉积的初步实验研究,在铜基底上实现了直径25μm、高300μm的微小圆柱的电沉积加工,并通过仿真分析解释了沉积样件直径小于微细电极直径的原因。
【基金】 国家自然科学基金资助项目(51475439);中物院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZZ14005);中国工程物理研究院发展基金资助项目(K901-14-jf)
- 【会议录名称】 第16届全国特种加工学术会议论文集（上）
- 【会议名称】第16届全国特种加工学术会议
- 【会议时间】2015-10-31
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TG662;TH-39
- 【主办单位】中国机械工程学会特种加工分会