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磷掺杂纳米硅/二氧化硅多层膜材料的电学输运性质研究
【作者】 钱明庆； 单丹； 季阳； 翟颖颖； 徐骏； 李伟； 徐岭； 陈坤基；
【机构】 南京大学电子科学与工程学院固体微结构物理国家重点实验室；
【摘要】 <正>半导体纳米硅材料由于在未来许多新型器件中有着重要的应用前景,因此在过去几十年被广泛地研究,但绝大多数研究都是针对非故意掺杂的纳米硅材料。对于发展基于纳米硅材料的新型纳电子与光电子器件而言,是否可以通过掺杂调控纳米硅材料的电子结构与光电特性以进一步设计与制备出高性能的器件,是人们当前非常关注的问题[1]。在我们先前的研究工作中,从实验上验证了杂质磷可
【基金】 “973”计划子课题(2013CB632101);国家自然科学基金(No.11274155)的支持
- 【会议录名称】 第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文摘要集
- 【会议名称】第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
- 【会议时间】2016-06-16
- 【会议地点】中国江苏南京
- 【分类号】TQ127.2;TB383.2
- 【主办单位】南京大学电子科学与工程学院、南京大学固体微结构物理国家重点实验室、浙江大学硅材料国家重点实验室