节点文献
用于光刻的一体化小型KrF准分子激光器及其光学系统
【机构】 中科院安徽光机所；
【摘要】 <正>本文报道了用于光刻的小型KrF准分子激光器及其光学系统的性能。KrF准分子激光器实现了电源激光器一体化。放电间距16 mm,激活长度420 mm,单脉冲能量80~100 mJ,脉宽25 ns。研究了激光输出与各参量的关系及改善光束质量的方法。光学系统由5倍扩束望远镜、反射镜及光阑组成。激光束通过光学
- 【会议录名称】 1996全国青年激光学术研讨会及中科院光束特性及变换高研研讨班论文摘要集
- 【会议名称】1996全国青年激光学术研讨会及中科院光束特性及变换高研研讨班
- 【会议时间】1996-10-05
- 【会议地点】中国安徽巢湖
- 【分类号】TN248