【作者】 兰晓东； 王艳； 张淑仪； 范理； 水修基；

【Author】 LAN Xiao-dong;WANG Yan;ZHANG Shu-yi;FAN Li;SHUI Xiu-ji;Key Laboratory of Modern acoustics,Institute of Acoustics,Nanjing University;

【机构】 近代声学教育部重点实验室,南京大学,声学研究所；

【摘要】 <正>0引言湿度检测广泛应用于气象学,医学,纺织,制造及农业领域^[1]。诸多传感技术（包括电阻抗、电容、光纤、场效应晶体管、声表面波和石英晶体微天平等）已经用于湿度检测^[1]。而其中声表面波传感技术具有高精度、高灵敏度、体积小、重量轻、功耗低等优点,在实现远距离无线数据传输方面具有很大潜力,近些年来吸引了大量的研究工作^[2]。ZnO晶体能够将H₂O以分子和羟基的形式吸附在其表面,是一种对湿度敏感的宽禁带压电半导体材料^[3]。同时,相较于其体材料,ZnO压电薄膜具有能与其他半导体器件集成于一体的优势,其广更多还原