生长在6h-SiC衬底上的单个自组装Si纳米晶粒的拉曼光谱及其成像

【作者】 徐士杰； 徐世宏； 魏志峰； 吴华生； 谢茂海； 唐叔贤； 支志明； 刘惠春；

【机构】 物理系及港大-中科院新材料合成及检测联合实验室,香港大学； 香港城市大学物理及材料科学系； 化学系及港大-中科院新材料合成及检测联合实验室,香港大学； 微结构科学研究所,加拿大国家研究委员会；

【摘要】 <正>众所周知,硅是整个微电子工业的基础材料。自从多孔硅能够相当高效率地发射可见光的现象发现以后,硅的微结构及其性质就一直受到强烈关注。人们已经发现硅的微结构颗粒对入射光有着显著增强的非弹性散射如拉曼散射、光致发光等。近年来,如何制备出具有人们所期望的特异性能的硅的微颗粒以及单个如此的微颗粒的性质表征是一个非常吸引人也是极具挑战性的课题。最近,我们利用分子束外延设备在碳化硅衬底上生长出了硅的纳米晶粒,晶粒的尺度可以控制在数百纳米到微米之更多还原