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GaN薄膜中载流子浓度和迁移率及其微区分布的显微拉曼光谱研究
【机构】 中科院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室；
【摘要】 <正>在掺杂GaN外延薄膜的拉曼光谱中观察到等离子体激元与LO声子的耦合模,通过线形分析和拟合计算得到测量点的载流子浓度和迁移率。利用显微拉曼光谱仪的自动扫描功能对30x30mm的微观区域和4x4mm的大面积范围进行了平面扫描测量,得到载流子浓度和迁移率的平面分布。
- 【会议录名称】 第十一届全国光散射学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十一届全国光散射学术会议
- 【会议时间】2001-12-04
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】O657.37;O484
- 【主办单位】中国物理学会光散射专业委员会