【作者】 殷红; 赵永年; 何志; 李英爱; 顾广瑞;
【机构】 吉林大学超硬材料国家重点实验室;
【摘要】 <正>本文测量了纳米Ti O2薄膜的Raman散射谱,并用B1g膜计算了不同厚度的纳米Ti O2薄膜的粒度。结果表明,随着膜厚的增加,粒度也在增加,膜厚达到一定程度后,粒度的增加量减少。更多还原