【作者】 吕晓明； 杨革；
【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨第一工具厂；
【摘要】 <正> 计量光栅传感器以其精度高、量程大而广泛地应用于位移、角度、长度等测量系统中。高精度的计量和检测,通常要求长度精确到1～0.1μm,角度精确到1″～0.1″。如果以光栅的栅距或栅角作计量单位,则要更多还原
