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Ti-Cu-N纳米复合薄膜的制备及其耐蚀性能研究
【机构】 辽宁师范大学物理与电子技术学院；
【摘要】 利用电弧离子镀与磁控溅射复合镀膜方法,在316L不锈钢表面制备Ti-Cu-N纳米复合薄膜。通过调节Cu靶电流控制薄膜中Cu含量以研究Cu含量对膜层微观结构和耐腐蚀性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的相结构和表面形貌进行表征,利用传统三电极方法对未镀膜和镀膜样品进行动电位极化测试,以评价其耐腐蚀性能。结果表明,随着Cu靶电流由0.15A增加至0.9A,薄膜中Cu含量由0.76at%增大至33.5at%;Ti-Cu-N纳米复合薄膜主要以Cu和TiN混合相形式存在,XRD图谱中出现了TiN(311)和Cu(111)(200)的衍射峰;随着Cu含量的增加,Cu(111)(200)衍射峰强增大,Ti-CuN纳米复合薄膜表面更加细化均匀;Ti-Cu-N纳米复合薄膜的腐蚀电位变高,说明随着TiCu-N纳米复合薄膜中Cu含量的增加,Ti-Cu-N薄膜的耐蚀性增强。
【关键词】 Ti-Cu-N纳米复合薄膜；
电弧离子镀；
磁控溅射；
微结构；
耐腐蚀；
- 【会议录名称】 第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）
- 【会议名称】第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
- 【会议时间】2014-10-28
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会、中国表面工程协会