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TiSiN多层超硬薄膜的制备及增强机制研究
【机构】 河南大学特种功能材料重点实验室；
【摘要】 采用离子束溅射与磁过滤阴极弧等离子体共沉积技术在单晶硅片(400)表面沉积了TiSiN硬度梯度多层薄膜。利用XRD、cross-section HR-TEM、nanoindentation等研究了硬度梯度多层结构的设计对TiSiN纳米复合薄膜的微观结构、膜基结合力、硬度和耐磨性的影响。发现在每一硬度亚层都未出现超硬现象的情况下,由于TiSiN纳米复合结构中的TiN纳米晶相在多层结构界面处产生穿晶现象,导致TiSiN硬度梯度多层薄膜都表现出了超硬效应。而且随着较高硬度单层厚度的增大,薄膜的纳米硬度逐渐增加。各硬度层厚度均等的多层膜耐磨性最低。
- 【会议录名称】 第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛论文集
- 【会议名称】第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛
- 【会议时间】2012-10-28
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会