超高真空二次电子测试装置的自主设计和实验研究

【作者】 王洁； 徐延辉； 张波； 魏伟； 裴香涛； 范乐； 洪远志； 王勇；

【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；

【摘要】 自主设计了一套材料二次电子发射测量系统,采用ZR（Zero Retard）法[1]研究测量了加速器常用材料[1-4]如不锈钢,无氧铜等的二次电子发射系数。介绍了二次电子测试装置的设计原理和设计方案,装置包括超高真空系统、测试系统和控制系统,可以在10^-9Torr的超高真空下准确测试材料的二次电子发射特性。装置采用独立可调的低能电子枪,电子枪的束流能量范围是50eV至5 keV。测量中,电子枪末端到材料表面的距离约为15 mm。测量得到:不同强度的入射电子束流对材料二次电子产额的影响以及不同加热温度对材料二次电子产额的影响。更多还原