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透射光谱法测试自支撑光学高分子薄膜厚度和折射率的方法研究
【机构】 中国科学院光电技术研究所；
【摘要】 <正>随着大口径、轻量化光学系统的发展,10~100um厚度的自支撑高分子薄膜(以下简称薄膜)代替传统的光学材料作为透镜基底已是一个新的光学材料发展方向。在光学应用中,高分子薄膜的厚度与折射率已成为首要关注的参数。本文为了后续实现大面积扫描薄膜厚度及折射率分布,采用透射光谱法测试光学高分子薄膜的厚度和折射率。虽然光谱透过率曲线上包含了薄膜厚度和折射率信息,但用显示表达式来求解薄膜信息是非常困难的,通常采用近似处理或者逐次逼近拟合。本文在理论光谱透过率推导式基础上采用Gauss-Newton拟合算法来获取薄膜厚度和折射率信息,并利用光谱透过率仿真数据验证了该方法的精度高达
- 【会议录名称】 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
- 【会议名称】第十五届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2014-10-26
- 【会议地点】中国江西南昌
- 【分类号】O433
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会