用干涉仪测非球面

【作者】 潘君骅； 胡建军； 韩森； 张齐元；

【机构】 苏州大学现代光学技术研究所； 苏州慧利仪器有限责任公司；

【摘要】 <正>提出一种新的,测定非球面参数及误差的方法。在通用的斐索型球面干涉仪上,直接对轴对称非球面检验,根据所调到的带的曲率中心,及此中心与其顶点曲率中心之间的差距,即可算出该非球面的两个主要参数。对于二次曲面,除了要知道顶点曲率半径外,只需测一个带,而高次曲面则随高次项的增加而增加带的数目。如果镜面有中心孔,或不知道顶点曲率半径,则需要增加测一个带。为此需要有一沿光轴的距离读数系统。文章给出原理介绍及对一个实际二次非球面更多还原