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喷雾热解法制备掺铟氧化锌(IZO)薄膜

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【作者】 刘伟； 彭香艺； 吴琼； 莫晓亮；

【机构】 复旦大学材料科学系；

【摘要】 <正>本文使用喷雾热解法在玻璃基底上制备掺铟氧化锌（IZO）薄膜。研究了In含量和前驱液用量对薄膜结构、光性能、电性能、以及带隙（Eg）的影响。以钠钙玻璃（2cm×2.5cm×1cm）作为基底,将切割好的钠钙玻璃分别用丙酮和水清洗,清洗完毕取出,用高压氮气吹干备用。分别以二水醋酸（ZnAc2·2H2O;0.1M）和氯化铟（InCl3）作为Zn源和In源。溶剂选用乙醇与水的混合液,乙醇与水的体积比为

  • 【会议录名称】 第八届华东三省一市真空学术交流会论文集
  • 【会议名称】第八届华东三省一市真空学术交流会
  • 【会议时间】2013-10-18
  • 【会议地点】中国安徽合肥
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】安徽省真空学会
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