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多层结构的银基透明导电薄膜及其热稳定性的研究

Ag-based multilayer transparent conductive films deposited by magnetron sputtering and their thermal stability

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【作者】 陆浙； 周琳； 朱峰； 陈晓红； 孙卓；

【机构】 华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心；

【摘要】 本文利用磁控溅射制备了ZnO/Ag/ZnO、AZO/Ag/AZO三层和AZO/LiF/Ag/LiF/AZO、AZO/Al/Ag/Al/AZO五层透明导电薄膜,该体系薄膜400-700nm的平均透过率在80%以上,方块电阻约5Ω/sq。相较于AZO/Ag/AZO薄膜,AZO/LiF/Ag/LiF/AZO薄膜在723K退火后方块电阻为5.7Ω/sq,而前者电阻显著上升(25Ω/sq)。这表明五层结构的薄膜有效提高了热稳定性,极有可能是LiF或Al层阻碍了Ag的扩散及团聚。

【Abstract】 The multilayer transparent oxide thin films of ZnO/Ag/ZnO,AZO/Ag/AZO and AZO/LiF/Ag/LiF/AZO,AZO/A1/Ag/A1/AZO were fabricated by magnetron sputtering,which have sheet resistance as low as 5 ohm/sq and high transmittance of more than 80%at 400-700nm with the optimum structure.Compared with three-layer films,five-layer films show better thermal stability contributed by the limitation function of interlayer on Ag aggregation and diffusion.

【关键词】 透明导电薄膜； 磁控溅射； 退火； 热稳定性；
【Key words】 transparent conducting film； magnetron sputtering； annealing； thermal stability；
【基金】 国家自然科学基金(61275038);上海自然科学基金(项目号11ZR1411300);上海浦江人才基金(项目号:11PJ1402700);教育部博士点基金(项目号:20110076120017);SRF for ROCS,SEM资助
  • 【会议录名称】 第八届华东三省一市真空学术交流会论文集
  • 【会议名称】第八届华东三省一市真空学术交流会
  • 【会议时间】2013-10-18
  • 【会议地点】中国安徽合肥
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】安徽省真空学会
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