用于氧气传感的761nm激光器

【作者】 王火雷； 周旭亮； 于红艳； 王宝军； 周代兵； 潘教青； 王圩；

【机构】 中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室；

【摘要】 <正>在很多工业过程和安全系统中需要对氧气浓度进行监测。目前用于检测氧气的传感器大多是通过其探头的电阻或电容变化来测定氧气浓度,所以易受外界电磁干扰,且在易燃易爆环境存在安全隐患。随着激光技术的发展,激光作为检测光源有非常大的优势。可调谐激光采用波长调制并对吸收信号进行二次谐波处理是近年来发展起来的一种新型的激光光谱分析法,己被广泛应用于环境检测、大气科学、痕量分析、光谱测量等更多还原