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光学球面面形的高精度光纤点衍射移相干涉测量技术研究
【机构】 北京理工大学光电学院,北京理工大学 光电学院 光学测量实验室；
【摘要】 <正>由于小孔(Φ≤4λ)衍射的球面波前接近理想(其球面偏差≤λ/10000),故点衍射干涉方法是测量高精度球面面形的理想方法。本论文首先简要回顾了点衍射技术的基本原理和发展历程,展示了将点衍射技术运用于光学球面面形测试的几种基本形式及其光路构成,并分析了各自的优缺点。论文重点介绍了以单模细光纤作为点衍射源的光纤点衍射移相干涉测量装置的基本光路构成:单光纤方案和双光纤方案。在分析各自的优缺点的基础上,深入研究了双光纤点衍射移相干涉方案的技术细节:
- 【会议录名称】 第十四届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第十四届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2012-09-21
- 【会议地点】中国四川绵阳
- 【分类号】TH744.3
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会