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轻敲模式AFM的设计及研究
【机构】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室； 成都精密光学工程研究中心；
【摘要】 <正>原子力显微镜的轻敲模式相对接触模式对样品的损伤较小,相比非接触模式又有更高的分辨率和较大的线性工作范围,因此已经成为AFM的主要工作模式。1.系统组成图1是系统的原理框图。激光扩束后,经显微物镜会聚在微探针上;微探针固定在压电叠堆上,调节加在压电叠堆上正弦信号的频率,使微探针在其谐振频率附近振动。从微探针上返回的光包括微探针表面的几何反射光和微探针内部顶点的后向点衍射光,利用点衍
- 【会议录名称】 第十届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第十届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2004-10-25
- 【会议地点】中国河南洛阳
- 【分类号】TH742
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会