电子、离子及等离子的应用

【作者】 王培大； 徐嘉东； 商作起； 杨占坤； 韩阶平； 李秀琼；

【机构】 中科院半导体研究所； 中科学微电子中心；

【摘要】 根据研究工作需要,我们设计制造了一台等离子体多功能加工机。并在其上作了多项研究工作。已取得了很好的结果、主要是用其放电时在阳极一端有电子聚集,阴极一端有离子聚集,并有一定能量、我们可用其带有能量的电子和离子对样品进行加工、在等离子体区也可对样品进行加工、由于能量有限,因此主要用于表面加工、目前我们主要作了电子加热对离子注入样品的退火;硅的表面掺杂;硅、氧化硅表面改性;宝石、陶瓷表面改性等等、同样也用了离子或等离子体作这些工作、同时还可用它来作表面薄膜生长;表面合金化;表面新材料的合成或分解。因此,我们称它为多功能加工机、我们在它上面作过的工作有的已通过部、院级鉴定,有的已在科研工作中应用,还有一些项目正在进行中、从这些工作可以证明,它是科研工作的一种有效手段。更多还原