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近代低温FT—IR技术及其在半导体分析中的应用
【作者】 李光平； 何秀坤； 王琴； 李晓波； 阎平； 汝琼娜； 郑驹；
【机构】 机械电子工业部第46研究所；
【摘要】 <正>一、低温红外光谱技术及其特点低温技术是研究红外光谱的重要手段之一,低温红外光谱技术在半导体材料的结构、成份分析中有广泛的应用。它比常温测量有许多优点。如,随着温度的降低,半导体中杂质的特征吸收峰光大大减小,吸收峰变锐,峰值波数处的吸收系数大大增加,因此可以
- 【会议录名称】 第四届理化分析经验交流会论文集（下册）
- 【会议名称】第四届理化分析经验交流会
- 【会议时间】1990-07-01
- 【会议地点】中国辽宁兴城
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】中国电子学会生产技术学会理化专业委员会