【作者】 杨晓阳； 袁永刚； 王继强； 陈伯良； 李向阳；
【机构】 中国科学院上海技术物理研究所；
【摘要】 本文主要介绍一种具有精确控制光敏面尺寸,高速运行128元锑化铟中波红外探测器组件。讨论了器件研制工艺中精确限制光敏面尺寸的实现,以及成像扫描机构的设计。最后介绍了器件的扫描热图像。更多还原
