节点文献
极紫外、软X射线与X射线多层膜元件研究
【作者】 朱京涛； 张众； 王风丽； 李文斌； 王占山； 陈玲燕；
【机构】 同济大学精密光学工程技术研究所,物理系；
【摘要】 <正>围绕我国同步辐射光源、稠密等离子体诊断、极紫外光刻、极紫外天文观测、X射线天文望远镜等应用需求,研制了一系列关键的多层膜光学元件。为满足同步辐射偏振测量需要,采用La/B4C,Mo/Y,Mo/Si多层膜,研制了6.7-30nm的宽带偏振片;为满足Fe,Co,Ni等磁性材料偏振测试需要,研制了超薄W/B4C
- 【会议录名称】 中国光学学会2011年学术大会摘要集
- 【会议名称】中国光学学会2011年学术大会
- 【会议时间】2011-09-05
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】TN605
- 【主办单位】中国光学学会