硫化锌衬底类金刚石复合增透保护膜系制备研究

【作者】 郭延龙； 陆益敏； 吴杰； 黄国俊； 王淑云； 程勇； 王会升； 万强；

【机构】 武汉军械士官学校光电技术研究所；

【摘要】 硫化锌衬底常用的增透膜系普遍硬度低,保护效果差,难以满足恶劣环境使用要求。采用准分子激光沉积出高红外透过率、高硬度的DLC膜,与多种材料共同组成类金刚石复合增透保护膜系。通过粘附层、优化DLC膜厚度等工艺,提高了膜系的附着性能。该膜系具有远红外波段透过率高、牢固性好、耐划伤等优点。通过水煮实验和军标胶带、摩擦实验。更多还原