ZnO:Al透明导电薄膜微观结构形成机制及导电性能的研究探讨

【作者】 吕玉婷； 丁新更； 杨辉；

【机构】 浙江大学材料科学与工程学系； 浙江大学硅材料重点实验室； 浙江大学 加州纳米技术研究院；

【摘要】 <正>透明导电氧化物薄膜是一种在可见光范围内具有高透过率,同时具有导电性的薄膜。可作为光电器件的透明电极,并得到广泛的应用,例如平板显示器、太阳能电池与透明薄膜晶体管等。目前应用最为广泛的是In₂O₃:Sn（ITO）薄膜,但是,ITO中所含的金属In是一种稀有金属,价格贵,且有一定毒性。而相比而言,ZnO原料丰富、价格低廉、无毒,因此ZnO基透明导电薄膜,特别是铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜,被认为是最有可能替代ITO的薄膜材料,具有巨大的发展潜力。更多还原