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优异Y-BST薄膜的设计、制备及介电性能

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【作者】 廖家轩； 魏雄邦； 尉旭波； 徐自强； 汪澎；

【机构】 电子科技大学电子科学技术研究院；

【摘要】 <正>针对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜较高的铁电性及其对应的较大的介电常数和较高的介电损耗从而限制其微波调谐应用的特点,本论文就（Ba+Sr）/Ti的原子摩尔比例、掺杂元素、掺杂浓度、薄膜厚度等参数进行了优化设计,用改进的溶胶-凝胶（sol-gel）法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了钇掺杂钛酸锶钡（Y-BST）薄膜,并研究了该薄膜的结构及介电性能。X射线衍射（XRD）表明,制备的薄膜均为立方钙钛矿多晶结构,但主要沿（110）晶面生长。当（Ba+Sr）/Ti比值小于1时,随该比值的增加,BST相结构的衍射强度增加,薄膜的晶化增强;

  • 【会议录名称】 第十七届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
  • 【会议名称】第十七届全国高技术陶瓷学术年会
  • 【会议时间】2012-09-19
  • 【会议地点】中国江苏南京
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会
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