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卷对卷技术制备CIGS薄膜太阳电池吸收层均匀性的研究
The uniformity of absorption layer in CIGS thin-film solar cell using roll- to-roll technology
【Author】 Li Wei,Zhao Yan-min,Yan Li,Qiao Zai-xiang,Liu Xing-jiang (1 National Key Laboratory Of Power Sources,Tianjin Institute of Power Sources,Tianjin 300381,China)
【机构】 中国电子科技集团公司第十八研究所 化学与物理电源技术重点实验室；
【摘要】 以轻质柔性聚酰亚胺（PI）材料为衬底,采用低温共蒸发"一步法"工艺制备四元化合物Cu（In,Ga）Se2（CIGS）薄膜。本文采用卷对卷（roll-to-roll）技术,在衬底幅宽300mm的方向上实现了良好的成膜均匀性。
【Abstract】 The Cu（In,Ga）Se2（CIGS）films are deposited by evaporation using "one-stage process" at low temperature on the polyimide（PI）.The film thickness uniformity is accepted for a commercial process with 300mm-wide substrate with roll-to-roll mass production.
- 【会议录名称】 第29届全国化学与物理电源学术年会论文集
- 【会议名称】第29届全国化学与物理电源学术年会
- 【会议时间】2011-10-22
- 【会议地点】中国湖南长沙
- 【分类号】TM914.4
- 【主办单位】中国电子学会化学与物理电源技术分会、中国化学与物理电源行业协会、中国电工技术学会氢能发电装置专业委员会、中国电工技术学会电池专业委员会、化学与物理电源重点实验室