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超大工件激光精密加工质量控制
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 研究了超大工件激光精密加工飞行光学(flying optics)高斯光束聚焦特性。理论研究表明:将某一特定谐振腔的瑞利长度Z_R取代q参量虚部的光斑尺寸ω时,q参量的ABCD定律可以从基模推广到高阶模或几个模的叠加,并推导出飞行光学实际焦距与几何焦距之差△f的计算公式。为了精确控制飞行光学聚焦特性,研制了一台超大工件激光精密加工质量控制仪,实验和理论一致。
- 【会议录名称】 光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集
- 【会议名称】长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛
- 【会议时间】2006-11-27
- 【会议地点】中国安徽合肥
- 【分类号】TN249
- 【主办单位】安徽省科学技术协会、中国科学技术大学