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场发射四极管的计算机模拟
【机构】 电子科技大学高能电子学研究所；
【摘要】 本文采用广泛使用的粒子模拟程序Magic模拟了以金刚石薄膜作为发射体的真空微电子四极管的特性。得出了电子的相空间图,从中可以看出第四极对电子的会聚作用。讨论了电子在阳极、栅极间的分配关系。研究了发射特性与栅极电压、发射体表面积大小等参量的关系。
【关键词】 真空微电子学；
场致发射阵列阴极；
PIC(particle-in-cell)模拟；
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会
- 【会议时间】1997-08-20
- 【会议地点】中国山东青岛
- 【分类号】TN113
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会