双面Si条两维位置灵敏探测器的研制及在空间探测中的潜在应用

【作者】 谭继廉； 靳根明； 李占奎； 徐瑚珊； 李海霞； 韩励想； 魏计房； 戎欣娟； 王秀华； 卢子伟； 张宏斌； 王柱生； 祖凯玲； 鲍志勤； 李春艳； 龚伟； 田大宇； 于民； 王金延； 张录；

【机构】 中国科学院近代物理研究所； 北京大学微电子研究院；

【摘要】 介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构,工作原理,制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm~2,前面和背面都被分为相等宽度的16条(每条的面积为50×3mm~2),在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25伏偏压下,各条的反向漏电流都<10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量,得到2.2%的能量分辨率(对5.486MeVα-粒子)。更多还原