【作者】 梁东明； 杜新华； 李玉奎；

【Author】 Liang DongMing Du XinHua Li YuKui

【机构】 天津市检测技术研究所；

【摘要】 本文介绍以激光技术、光电技术和微机为核心的薄膜厚度在线测量控制装置的原理及系统结构并分析影响测量精度的因素和解决方法,为薄膜生产线和感光材料行业提供先进的厚度测控手段。更多还原

【Abstract】 To provide the advanced ways of measuring and controlling the film thickness,we introduced the principle and systemic structure of an on-line device which has laser technique, photoelectricity technique and computer as the core.The factors affecting the measuring precision and their solving ways were also analyzed.更多还原