【作者】 范理； 周凤梅； 高会栋； 王成； 张淑仪； 张辉； 王翔邦；

【Author】 FAN Li,~1 ZHOU Feng-mei,~1 GAO Hui-dong~1,WANG Cheng,~1 ZHANG Shu-yi,~1 ZHANG Hui~1 WANG Xiang-bang~2 (1.Laboratory of Modern Acoustics,Institute of Acoustics,Nanjing University,Nanjing 210093,China; 2.Electronics Technology Group Corporation of China,No.55 Research Institute,Nanjing 210016,China)

【机构】 南京大学声学研究所近代声学实验室； 中国电子科技集团55研究所；

【摘要】 <正>1引言声表面波传感器由于其灵敏度高、体积小、易集成、成本低等优点成为了超声器件研究的一个热点。而这种传感器又由于其极高的灵敏度非常适合于检测微量物质,其中一个重要的应用就是检测微量的易燃易爆、有毒有害气体。声表面波传感器更多还原