【作者】 冉军学； 胡国新； 肖红领； 殷海波； 张露； 王晓亮； 李晋闽；
【机构】 中国科学院半导体研究所；
【摘要】 MOCVD设备是半导体材料制备的关键设备,本文介绍了我们自主研发的一次可生长7片2英寸氮化物材料的MOCVD设备,用该设备进行了材料生长验证,外延出高质量的氮化物基单层材料和LED结构材料。更多还原
