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金属有机化合物气相外延及其应用
【机构】 中国科学院半导体研究所；
【摘要】 <正>20世纪60年代发展起来的MOVPE新外延技术,由于具有生长化合物半导体异质结构和低维结构的能力又适于批量生产,在材料生长和器件研究与生产中占有重要地位。今天已经成为制备化合物半导体异质结、低维结构材料,以及生产化合物半导体光电子、微电子器件的重要方法。我国MOVPE
- 【会议录名称】 第十一届全国MOCVD学术会议论文集
- 【会议名称】第十一届全国MOCVD学术会议
- 【会议时间】2010-01-13
- 【会议地点】中国江苏苏州
- 【分类号】TN304.054
- 【主办单位】中国有色金属学会