节点文献
MEMS技术在微小型探测系统中的应用
【机构】 南京理工大学毫米波光波近感技术研究所；
【摘要】 微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术,目前,其研究领域已扩展到了射频与微波领域,并有继续向毫米波频率扩展的趋势。本文结合RF MEMS技术研究的最新进展,研究了如何利用最新的RF MEMS技术设计微小型探测系统,以实现探测系统的小型化、低功耗和高性能。
- 【会议录名称】 2005’全国微波毫米波会议论文集（第二册）
- 【会议名称】2005’全国微波毫米波会议
- 【会议时间】2006-02-27
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】TP211.4
- 【主办单位】中国电子学会