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阴极电弧TiN观察检测和比较

CAE-TiN Film Observation Test and Comparison

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【作者】 董骐田凯胡中军吴臻

【Author】 DONG QI,TIAN KAI,HU ZHONG JUN,WU ZHEN (ProChina Limited,Beijing,100096)

【机构】 北京丹普表面技术有限公司

【摘要】 在丹普公司开发的AS700DTXB型计算机自动控制离子镀膜机上镀制的工具镀TiN膜层,在各种基底(高速钢和模具钢)上展现出很高的膜基结合力。采用不同的划痕仪检测临界载荷Lc2都可以稳定在100N以上。该TiN膜层已经镀制在冲棒、冲摸、丝攻、和滚齿刀等多种常规工具上,实际使用结果显示了该膜层的优越质量。本文表明采用丹普常规的阴极电弧源系统就能够稳定地镀制出高质量的工具镀TiN膜层。

【Abstract】 With automation ion plating machine model AS700DTXB developed by ProChiaa Limited,hard film of TiN coated on various sobstiates(high speed sted and mould steel) shows high film-substrate adhesion.Critical load(Lc2) can be stable at 100 N or higher with different scratch test instrumeats.This TiN film has been coated on punches,molds,screw taps,hob cutters and so on.which appear superior quality.This paper proves mat high quality hard film of TiN can be achieved stably with ProChina standard cathodic arc source.

  • 【会议录名称】 薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集
  • 【会议名称】薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
  • 【会议时间】2009-12-05
  • 【会议地点】中国广东广州
  • 【分类号】TG174.4
  • 【主办单位】广东省真空学会
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