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大面积均匀矩形表面波等离子体源的实验研究
【作者】 刘明海； 陈兆权； 唐亮； 胡鹏； 江中和； 胡希伟； 菅井秀郎；
【机构】 华中科技大学电气与电子工程学院； 名古屋大学工学部电气研究科；
【摘要】 <正>近年来,作为新一代的表面波等离子体源在刻蚀,薄膜制备、材料表面改性等微电子工业中的应用引起了广泛的研究,目前的主要焦点是大面积均匀且放电高效稳定。本文介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,采用商业软件(MAFIA、CST)结合三维的FDTD自编程序,
- 【会议录名称】 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-07-20
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】O539
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会