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介质移相器用铁电薄膜研究
【作者】 杨传仁； 陈宏伟； 张继华； 姬洪； 王波； 贺伟； 唐海军； 廖宇；
【机构】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；
【摘要】 <正>作为介质移相器用的铁电薄膜材料,必须具有介电常数大、非线性强、介质损耗小、漏电流低等特性。采用射频磁控溅射法制备了介质移相器用钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,简称BST)铁电薄膜。在对BST薄膜制备工艺研究的基础上,通过对临界晶粒尺寸、界面效应、纳米线自组装现象、择优取向、可靠性、X射线衍射的研究,对BST薄膜进行性能优化,并设计和制作介质移相器。主要研究结果如下:
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TN623
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会