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脉冲偏压电弧离子镀DLC-MeN复合薄膜
【机构】 大连理工大学三束材料改性实验室；
【摘要】 <正>类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)薄膜是指一系列含有sp~3键的非晶碳膜,因为它具有硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、热导率高、热膨胀系数小等优点而被广泛关注。但是,由于DLC薄膜在生长过程中会产生较大的内应力,极大地降低了薄膜与基体的结合强度,从而限
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会