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多层纳米铁电薄膜介电增强机理
【机构】 四川大学材料科学与工程学院；
【摘要】 <正>铁电薄膜由于具有铁电、压电、热释电、电光及非线性光学等优异的特性,可广泛应用于微电子学、光电子学、集成光学以及微机械学等技术领域,已研制的器件有铁电存储器、非致冷热释电探测器、光波导、光调制器和微驱动器等。铁电薄膜的性能与其厚度、应力、界面态等有着密切的关系。2004年,美国学者K.J.Choi
【基金】 国家自然科学重点基金(50132020);国家自然科学基金(60471044)资助
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TM221
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会