【作者】 张涤新； 赵澜； 成永军； 冯焱； 宋瑞海；

【Author】 ZHANG Di-xin ZHAO Lan CHENG Yong-jun FENG Yan SONG Rui-hai (Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou,Gansu 730000,China)

【机构】 兰州物理研究所；

【摘要】 本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。更多还原

【Abstract】 The developments of gas flow metrology in American NIST、Germany PTB、Japan NMIJ、Italy IMGC,Korea KRISS、China NIM、National Institute of Metrology and Primary Standard Laboratory of Vacuum(Lanzhou Institute of Physics LIP ),are introduced.It’s calibration methods and application in calibration system were also discussed更多还原