分流法超高/极高真空校准装置性能研究

【作者】 李得天； 郭美如； 邱家稳； 李正海； 成永军； 冯焱； 张涤新； 赵光平； 孙海；

【机构】 兰州物理研究所；

【摘要】 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10^-10Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10¹⁰Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10^-4～10^-10)Pa,合成标准不确定度为1.5%～3.5%。更多还原