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氦质谱细检漏漏率公式与内部水汽含量研究
【机构】 北京市科通电子继电器总厂；
【摘要】 通过对氦质谱细检漏漏率公式的推演及内部氦气和水汽含量的计算,文章研究指出:应该以真实的氦气标准漏率LHe代替虚拟的等效（空气）标准漏率L;氦气交换时间常数τHe是衡量相对密封性的简明特征参数;在恰当地处置测量漏率的偏差后,可以运用推演的公式进行典型气体交换过程的工程计算;目前密封元器件的漏率判据普遍保证不了经筛选和几个月贮存后的内部水汽含量要求。
- 【会议录名称】 第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会摘要及论文集
- 【会议名称】第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会
- 【会议时间】2007-09-15
- 【会议地点】中国甘肃敦煌
- 【分类号】TN107
- 【主办单位】中国真空学会质谱分析与检漏专委会、中国计量测试学会真空测量专委会