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CuInGaSe2太阳能薄膜及其靶材制备技术发展与前景
Development of fabrication technology of the CuInGaSe2 thin film and its sputtering target
【Author】 CHEN Hui, ZHANG Jiao, WANG Jun (The School of Material Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240,China)
【机构】 上海交通大学材料科学与工程学院；
【摘要】 以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分析并预测得出合金-靶溅射将成为工艺主流,而合金熔铸法将成为溅射靶材合理的制备工艺。
【Abstract】 This paper summarizes all kinds of fabrication technology used for thin film CIGS, including deposition, substitution method, vapor deposition method and sputtering methods. Also the processing technology of target for CIGS thin film is described in the paper. Finally, it could be predicted that sputtering with single target will be the main stream technology in preparing CIGS thin film, casting method will be suitable to produce CIGS alloy target.
【Key words】 CuInGaSe2(CIGS) thin film； sputtering target； preparation technology；
- 【会议录名称】 2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集
- 【会议名称】2009中国功能材料科技与产业高层论坛
- 【会议时间】2009-11-07
- 【会议地点】中国江苏镇江
- 【分类号】TM914.4
- 【主办单位】中国仪表功能材料学会、江苏大学、《功能材料》期刊、《功能材料信息》期刊