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C-H-N体系气相淀积金刚石薄膜的非平衡定态相图
Non-equilibrium Stationary Phase Diagrams for CVD Diamond Thin Films in C-H-N System
【作者】 刘志杰； 张卫； 张剑云； 万永中； 王季陶； 曹传宝； 朱鹤孙；
【Author】 Liu Zhijie Zhang Wei Zhang Jianyun Wan Yongzhong Wang Jitao Cao Chuanbao~+ Zhu Hesun~+ (Deptartment of Electronic Engineering,CVD Laboratory,Fudan University,Shanghai,200433,China) (+ Materials Science Research Laboratory,Beijing University of Science and Technology,Beijing,100081,China)
【机构】 复旦大学电子工程系CVD研究室； 北京理工大学材料科学研究室；
【摘要】 根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图,与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中氮原子含量对金刚石薄膜淀积条件的影响。
【Abstract】 Non-equilibrium stationary phase diagrams for diamond growth with nitrogen addition into the reaction system were calculated and coordinate well with published experimental results.Therefore they can direct the experimental research on the subject.The effects of activation temperature,system pressure and nitrogen addition on the deposition of diamond films were discussed by using the phase diagrams.
【Key words】 CVD； Nitrogen； Diamond； Non-equilibrium stationary state； phase diagram；
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】O484
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会