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多层片式PZT系压电陶瓷微位移器位移特性研究
Studies on the Displacement of the PZT-based Monolithic Multilayer Piezoelectric Actuator
【作者】 李国荣； 陈大任； 沈卫； 张望重； 张申； 殷庆瑞；
【Author】 Li Guorong Chen Daren Shen Wei Zhang Wangzhong Zhang Shen Yin Qingrui (Laboratory of Functional Inorganic Materials,Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Science,Shanghai,200050,China)
【机构】 中国科学院无机功能材料开放实验室上海硅酸盐研究所；
【摘要】 采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜/金属内电极共烧技术,制作了多层片式高含铅PZT压电陶瓷微位移器。获得了体积小、电压低位移量大(38V, 1.05μm)的多层片式微位移器。对器件在直流和直流偏置交流电压作用下位移特性进行分析和研究。
【Abstract】 The PZT-based monolithic multilayer piezoelectric actuator(35th layers of piezo-ceramic,one layer 47μm thick) was fabricated by the tape-casting and the ceramic/internal-electrode cofiring method.The actuator shows large displacement under a low voltage(about 1μm displacement for 38V voltage).The static and dynamic displacement characterizations of the PZT-based actuator was discussed on the basis of its lattice structure and domain behaviors.
【Key words】 tape-casting； PZT-based monolithic multilayer piezoelectric actuator； displacement；
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TN384
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会