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C60增强金刚石薄膜成核研究

Buckminsterfullerene Enhanced—Nucleation of Diamond Films

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【作者】 杨国伟； 刘大军； 袁放成； 何金田； 张兵临；

【Author】 Yang Guowei Liu Dajun~* Yuan Fangchen He Jintian~* Zhang Bienglin~* (Dept.of Phys.,Xiangtan University,Xiangtan,411105,China) (*Fundamental & Applied Science Research Institute of Henan,Zhengzhou,450052,China)

【机构】 湘潭大学物理系； 河南省基础与应用科学研究所；

【摘要】 采用MWPCVD方法,以C60薄层为中间层,在光滑单晶Si（100）表面,首次在无衬底负偏压预处理条件下,成功生长出多晶金刚石薄膜,通过SEM观察到金刚石晶粒呈菜花状,生长面为金刚石（100）晶面。

【Abstract】 A new method for nucleating diamond film on nondiamend substrates mirror surface using Cgothin layers as intermediate have been described in the present paper,The high quality polycrystalline diamond films was deposited on Si(100)mirror surface without higher substrates negative bias of the pretreatment of substrate prior to diamond growth by MWPCVD.

【关键词】 C60； 金刚石薄膜； 成核；
【Key words】 buckminsterfullerene； diamond film； nucleation；
【基金】 国家优秀年轻数师基金;湖南省自然科学基金资助
  • 【会议录名称】 第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集
  • 【会议名称】第二届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】1995-10-23
  • 【会议地点】中国四川成都
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会薄膜专业委员会、机械工业部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部、大连理工大学、中国科技大学、北京科技大学、吉林大学、东北大学、中国科学院上海冶金研究所、中国科学院半导体研究所、北京大学、清华大学、南京大学、华中理工大学、武汉工业大学、电子科技大学、四川联合大学、西北工业大学、北京工业大学、东南大学、青岛化工学院、北京航空航天大学、山东工业大学
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