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SOL—GEL镀制薄膜材料及其进展

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【作者】 李彬赵春燕

【机构】 吉林大学材料科学研究所

【摘要】 <正>1前言镀膜技术较早取得成功的是一些物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等成膜方法。薄膜技术发展至今,获得薄膜的方法很多,但就其成膜原理来说,大致可以分成两类:一是以真空镀膜为基础的物理镀膜法;二是基于成膜物质在基材表面上发生化学反应的化学镀膜法。其中溶胶—凝胶(Sol—gel)镀膜法,虽然历史相当悠久,却是最近才飞速发

【基金】 吉林省科委科技基金资助的课题
  • 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
  • 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】1992-10-26
  • 【会议地点】中国广西桂林
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会(CMRS)、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部
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