硼掺杂多晶金刚石薄膜的电学特性

【作者】 张仿清； 谢二庆； 扬斌； 吴全忠； 季亚英； 张南屏； 杨映虎； 陈光华； 蒋翔六；

【机构】 兰州大学物理系； 北京科学研究所；

【摘要】 <正>1前言金刚石具有非常优异的机械、光,电、化学性能,如:极高的硬度;宽的带隙;高的热导率;高的电子、空穴迁移率;光学透明性;低的介电常数。特别是其优异的电学性能,可望成为未来新的电子材料,在电子工业中得到广泛应用。如:高温、高频,大功率器件;以金刚石为材料的光敏器件可工作在紫外区和极高的电压下。本文对气相合成硼掺杂金刚石薄膜的电学性能及光电特性进行了测试并作了初步的讨论。更多还原