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PLVD法制备YBa2 Cu3 O7-δ/YS2/Al2 O3(SiO2,Si)高Tc超导薄膜
【机构】 河南省基础及应用科学研究所郑州大学; 清华大学物理系;
【摘要】 <正>1引言由于近几年来Tc超导薄膜的制备有了很大的突破,目前制备超导薄膜正沿着向实用衬底及超导电子器件发展。美国、日本率先在硅单晶上制备出Tc(0)=86K,Jc~106A/cm2 (77K)的超导薄膜;在Al2O3(li02)衬底上制备出Tc=(0)=89K,Jc~106A/cm2 (77K)的超导薄膜;在SiO2上制备出Tc(0)=83K的超导薄膜,PLVD方法是国内外公认的制备这些超导薄膜的最有效的方法之一。如今,如何在实用衬底上(Al2O3,SiO2, Si,GaAs等)制备出高Tc,Jc和低Rs(微波表面电阻)的薄膜成为制备超导薄膜的焦点。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会(CMRS)、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部