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Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究
【机构】 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室； 兰州大学等离子体与金属材料研究所；
【摘要】 与单层薄膜相比,纳米多层薄膜具有较优异的力学、摩擦磨损、抗氧化及耐腐蚀等性能,引起了材料界与工程界的重视。本试验采用磁控溅射系统制备了Al/AlN纳米多层膜。采用X射线衍射分析(XRD)表征了薄膜的结构,采用纳米压痕仪测量了薄膜的纳米硬度,采用摩擦磨损试验机评价了薄膜的摩擦学性能。结果表明:AlN在单层膜中是以(100)取向生长,而在多层膜中是以(002)取向生长;Al/AlN多层膜的硬度高达24.5 GPa,是单层AlN薄膜硬度的1.9倍;相对于单层膜,Al/AlN多层膜具有低的摩擦系数和优异的抗磨损性能。
- 【会议录名称】 第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）
- 【会议名称】第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
- 【会议时间】2008-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会